高解析度穿透式電子,顯微鏡(HRTEM：High Resolution Transmission Electron Microscopy)

使用六硼化鑭(LaB6)或奈米碳管(CNT)製作成針尖小于100nm(奈米)的奈米尖端來(lái)發(fā)射電子束(場(chǎng)發(fā)射)，奈米尖端可以使電子束的直徑縮小到 10nm(奈米)左右，請(qǐng)參考圖1-6(b)所示，而它的成像原理與傳統(tǒng)的穿透式電子顯微鏡(TEM)略有不同，在此不再詳細(xì)討論，如圖4-55(c)所示為高解析度穿透式電子顯微鏡(HRTEM)照片，高解析度穿透式電子顯微鏡(HRTEM)的解析度是目前所有電子顯微鏡中較高的，可以用來(lái)觀察大約 1nm(奈米)的結(jié)構(gòu)，因此可以看到「虛擬」的原子影像，如圖4-55(c)中的顆粒狀影像，為什麼是「虛擬」而不是真實(shí)的原子影像呢？別忘記，這些影像其實(shí)只是電子受到物體原子排列的影響而散射，較后投影在投影銀幕上的二維投影圖而已，還必須反過(guò)來(lái)推算，才能得到物體原子真正的三維結(jié)構(gòu)與結(jié)晶情形，目前已經(jīng)有這種反向推算的技術(shù)，但是推算完成后也只能得到電腦繪出的三維原子排列圖形(電腦繪圖)，已經(jīng)不算是真正的「照片」了。

工具顯微鏡

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