各種照明光源，可用于光學顯微鏡的整體性能取決于發射特性和幾何的來源，以及焦距，放大和收集透鏡系統的數值孔徑。反過來，這些系統內部的鏡片和鏡子的形狀和位置的影響。

參數，是衡量一個特定光源的適用性，結構（光的空間分布，這些不同的參數源幾何，連貫性，并對齊），波長分布，空間和時間的穩定，亮度，以及在何種程度上可以被控制。

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